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產(chǎn)品中心

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  • 無塵室烤箱,半導(dǎo)體無塵烤箱 工業(yè)烘箱
    無塵室烤箱,半導(dǎo)體無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;HMDS無塵烤箱可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
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    更新日期

    2025-09-16
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  • 無塵室干燥箱,試驗用百級烤箱 工業(yè)烘箱
    無塵室干燥箱,試驗用百級烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
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  • 加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱
    加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM
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  • 晶圓精密循環(huán)烤箱,硅片循環(huán)烘箱
    晶圓精密循環(huán)烤箱,硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱,結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強(qiáng)度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設(shè)計精良,且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風(fēng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,如此可得到較佳的溫度均勻性,均勻度可達(dá)±1.5%,當(dāng)門開、關(guān)動作引起擾動時,可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值。
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  • 潔凈充氮烘箱,無塵室充氮烤箱 工業(yè)烘箱
    潔凈充氮烘箱,無塵室充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮氣進(jìn)出口。
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