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可程式恒溫加熱臺，可替代進(jìn)口的精密熱板用于半導(dǎo)體光刻工藝的烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。適用于材料學(xué)、IC芯片、半導(dǎo)體、醫(yī)療、冶金學(xué)、生物化學(xué)、有機(jī)化學(xué)、高分子及納米材料科學(xué)而研制。

半導(dǎo)體充氮烘箱，氮?dú)饪灸z烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤

抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)用于半導(dǎo)體，光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料，如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。

抗粘 劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)抗粘劑氣相涂布機(jī)模具在使用前，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠洌讳P鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

勻膠機(jī)，可程式勻膠 機(jī)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

智能型烤膠機(jī)，自動烤膠臺適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。