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  • HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵
    HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵泵具有密封設(shè)計(jì)，電機(jī)和軸承與真空環(huán)路全隔離，延長(zhǎng)了軸承的使用壽命，并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設(shè)計(jì)，可通過簡(jiǎn)單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護(hù)操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染，并且不會(huì)額外增加泵的高度。
    01

    更新日期

    2025-09-17
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  • HMDS 烘箱 工業(yè)烘箱
    HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。
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    2025-09-17
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  • HMDS烤箱，HMDS真空烘箱
    HMDS烤箱，HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。
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    2025-09-17
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  • HMDS真空烤箱，MES系統(tǒng)HMDS烤箱 工業(yè)烘箱
    HMDS真空烤箱，MES系統(tǒng)HMDS烤箱將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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    2025-09-16
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  • HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī) 工業(yè)烘箱
    HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī)的主要作用是對(duì)晶圓做表面處理，以增加光阻在晶圓表面的附著力。當(dāng)晶圓送到黃光區(qū)時(shí)，表面可能有含水層，高溫烘烤后去除水氣，同時(shí)經(jīng)過HMDS制程改變晶圓表面從極性到非極性，將晶圓表面的表面能被調(diào)整到與光阻表面相當(dāng)?shù)某潭龋瑥亩构庾杩梢院芎玫母街诰A表面。
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