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全氟癸基三氯硅烷氣相沉積系統 FDTS鍍膜機是疏水二氧化硅的核心在于表面改性工藝。傳統二氧化硅因表面羥基導致親水性強，易吸附水分引發團聚。采用硅烷偶聯劑（如KH550、FDTS、OTS）定向接枝疏水基團后，接觸角從13.6°躍升至107.5°（改性納米SiO?數據），形成穩定的納米分散結構。

FDTS氣相沉積系統 FDTS防粘真空鍍膜機用于在納米壓印光刻中在脫模期間降低表面粘附力。防粘層包括氟化硅烷(TFS)、十八烷基三氯硅烷(OTS)、聚苯并噁嗪、或氟癸基三氯硅烷(FDTS)

偶聯劑KH-550涂膠機 偶聯 劑氣相沉積系統將KH-550/570/HMDS等硅烷增粘劑氣相沉積在基底表面，從而增大產品表面接觸角，增強表面兩者之間的界面結合力。

疏水氣相沉積設備 超疏水處理系統應用于納米壓印脫模工藝、硅烷偶聯劑鍍膜，增粘劑氣相沉積，脫模劑蒸鍍等工藝，Plasma等離子體氣相沉積系統 上一篇：無