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真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。
產品型號：廠商性質：生產廠家更新時間：2025-09-16訪 問 量：4724
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真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱簡介：
真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內部，從而置換腔內空氣降低氧濃度，來防止部分物料在高溫環境下加速氧化的現象。烤箱抽取真空后，充入氮氣，再抽取真空，多次循環后可以確保烤箱的工作室處于無氧的狀態，避免活性較強的物料在高溫有氧的環境下被氧化而損壞。
無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合前鍵合材料的真空處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業，適用于工廠、高等院校、科研等場所。
真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱技術指標：
工作室尺寸（mm） | 450×450×450，600×600×600，可定制 |
箱體材質 | 內箱采用316L醫用級不銹鋼，外箱采用優質冷軋板靜電噴塑或不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-300/400/500℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動度 | ≤±1℃ |
升溫速率 | ≤5℃/min |
降溫速率 | 特殊要求數據 |
真空度 | ≤133pa或要求數據 |
電源 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
控制儀表 | 人機界面，可校準溫度控制器，PID自整定等功能 |
擱板層數 | 不銹鋼托盤2層或多層 |
真空泵 | 油泵/干泵自選 |
腔門密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
狀態指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態 |
氧含量 | 20PPM，可檢測，實時顯示 |
潔凈度 | Class100、1000級 |
降溫系統 | 風冷+水冷 |
氮氣控制 | 可程序自動控制 |
安全保護裝置 | 安全的接地保護裝置，超溫保護及報警裝置，漏電保護裝置 |
上海雋思儀器 專為半導體生產烘烤制程設備定做服務，無氧烤箱，真空無氧化烤箱，無氧真空烘箱，無塵烤箱，無塵無氧烤箱，真空無氧固化烤箱，PI烤箱，潔凈烘箱，氮氣烤箱，隧道烘爐，HMDS真空烤箱等。
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